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.二氧化硅光波导的制作工艺玻璃光波导的制作工艺如所示,整个工艺分为五步:1)在玻璃基片上溅射一层铝,作为离子交换时的掩模层,如(b)所示;2)进行光刻,将需要的波导图形用光刻胶保护起来,如(c)所示;3)采用化学腐蚀,将波导上部的铝膜去掉,如(d)所示;4)将做好掩模的玻璃基片放入含Ag+-Na+离子的混合溶液中,在适当的温度下进行离子交换,如(e)所示,Ag+离子提升折射率,得到如(f)所示的沟道型光波导;5)对沟道型光波导施以电场,将Ag+离子驱向玻璃基片深处,得到掩埋型玻璃光波导,如(g)所示。松滋耐火光缆多少钱,2芯光缆厂家
.玻璃光波导的制作工艺3.平面光波导的应用铌酸锂晶体具有良好的电光特性,在电光调制器中应用广泛。
InP材料既可以制作光有源器件又可以制作光无源器件,被视为光有源/无源器件集成的最好平台。
SOI材料在MEMS器件中应用广泛,是光波导与MEMS混合集成的优良平台。
聚合物波导的热光系数是SiO2的32倍,应用在需要热光调制的动态器件中,可以大大降低器件功耗。